多孔陶瓷晶片卡盤 多孔陶瓷晶片卡盤通常用于在晶片被探測(測試)時(shí)將晶片固定在適當(dāng)?shù)奈恢?。大多?shù)晶片是通過在晶片背面施加少量真空來固定的。大多數(shù)分析探測系統(tǒng)配備有晶片卡盤。 晶圓卡盤有多種形狀、尺寸和材料可供選擇。它們通常是圓形的，比晶片尺寸稍大。常見的尺寸范圍從直徑5