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產(chǎn)品名稱(chēng)	porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤(pán)
加工精度	0.01mm
是否定制	訂制
粗糙度	Ra0.8
材料成分	氧化鋁
我要定制	按客戶(hù)需求接受定制;歡迎來(lái)廠參觀！
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porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤(pán)

類(lèi)型：多孔陶瓷+不銹鋼或氧化鋁陶瓷
尺寸：標(biāo)準(zhǔn) 6 到 12 英寸尺寸（可根據(jù)要求定制尺寸）
形狀：圓形/方形/矩形……
目數(shù)：標(biāo)準(zhǔn)#600（也可開(kāi)發(fā)其他粒度要求。）
陶瓷顏色：灰色/米色
特點(diǎn)：孔隙率好，精度高

porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤(pán)

多孔陶瓷由像海綿一樣從內(nèi)部連接到表面的連續(xù)孔形成。這種技術(shù)有很多名稱(chēng)，例如多孔陶瓷真空吸盤(pán)或卡盤(pán)。夾持面利用真空將被附著物體用大氣壓固定。這與吸盤(pán)的原理相同。傳統(tǒng)的解決方案使用用于空氣的通道，例如通過(guò)機(jī)械加工形成的凹槽或孔。這會(huì)導(dǎo)致薄膜變形和薄產(chǎn)品被吸入凹槽或孔洞等問(wèn)題。我們的多孔陶瓷在整個(gè)表面上都有微米級(jí)的孔，可以均勻粘附而不會(huì)變形固定物體。

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